烘箱外面罩着一层斑驳的绿漆,侧边还用红油漆喷着某某机械厂制造的字样。这台老旧的设备嗡嗡响着,发出低沉的噪音。
半个钟头的设定时间,在这间洁净室里,熬得每个人都满头大汗。
化工所的老教授站在烘箱跟前,眼珠子直愣愣的盯着上面慢吞吞走字的机械计时器。
他两只手紧紧攥在一起,手心里全都是汗水。
旁边的几个年轻研究员更是不敢喘粗气,连咳嗽都憋在嗓子眼里。
叮的一声脆响,计时器停了。
大伙儿不约而同松了一口气。
林振身形极高,在一群人里很是打眼。他面容玉白,在白炽灯的照耀下透着温和清隽的气质。他从桌上拿起一副厚实的翻毛皮手套戴好,伸进滚烫的烘箱,把那片烤得发烫的硅片稳稳夹了出来,放在专用的铁架子上晾着。
“这就完事了?”老教授急吼吼的问。
林振脱下手套,“表面的水气是烤干了。不过空气里到处都是水蒸气,放久了它还会重新粘回去。接下来的动作必须快。”
他偏过头,看向边上早就端着玻璃滴管等候的年轻研究员。
“匀胶。别耽搁。”
“哎,明白。”
年轻研究员捏扁滴管吸满紫色光刻胶,手腕悬在硅片正上方。他屏住呼吸,手指微微施力,挤出两三滴。紫色胶液垂直坠在硅片中心,聚成一小团,未向四周流散。
研究员把硅片卡在匀胶机的底座上,按下了启动键。
小马达呼啦啦的转起来,底盘飞速打转。离心力立马把紫色的药水往四周赶,在硅片表面平平整整的铺开了一层极薄的紫色胶膜。
转盘停稳后,大家全都凑着脑袋看。
“成了。”老教授笑容满面,“这胶老老实实趴在上面,一丁点浮油的影子都没了,刚才那水膜就是捣乱的根源。”
这还只是走完了第一步。光能粘住不顶事,还得看能不能刻出图来。
林振领着大伙儿走到角落里接触式曝光机跟前。
说它是曝光机,其实寒酸得很。
这是801项目组用一个废旧机床的底座,加上从别的研究所化缘要来的高压汞灯,临时拼凑出来的土玩意儿。
外表看着破烂,可这里头寄托着大伙儿的全部指望。
林振亲自上手。他手心肌肤细腻,在手指侧边有着常年干车工留下的薄茧。他稳当当地拿起那块画着基础条纹图案的玻璃掩膜版,跟硅片对齐,严丝合缝的压在了一起。
“曝光三十秒,计时。”
他按下了电闸,高压汞灯亮起刺眼的强光,紫外线透过玻璃板,直直打在那层紫色的光刻胶上。
屋里没人说话,全都在心里默默查着数。
三十秒一到,林振立刻关了灯。他把硅片取下来,递给边上的另一个小伙子。
“下药水,显影。”
小伙子端着一个白瓷盆,里头装了调配好的化学显影液。他两手发抖,吸了好几口气,才夹着硅片缓缓浸没到药水里,然后按着规程慢慢晃荡。
盆里的药水有了变化。
被紫外线照过的那部分胶膜开始发软,融化在药水里,露出了底下原本银灰色的硅片底子。而那些被掩膜版上的黑线挡住,没照着光的地方,胶膜一点没动,结结实实的留在了原处。
洗完之后,小伙子把硅片捞出来,拿去离子水冲干净,最后用氮气枪吹干。
他举着那片巴掌大的硅片转过身。
借着屋顶的灯光,所有人都清清楚楚看见,原本光秃秃的硅片上,多出了一排排边缘锐利、整齐划一的紫色线条。就跟微缩了好几百倍的火车轨道一样规整。
短暂的死寂过后,屋里爆发出震耳欲聋的叫喊声。
“成了!真叫咱们捣鼓出来了!”
“老天爷啊,咱们自己做出了光刻线条!”
几个年轻小伙子激动得抱在一起,又叫又跳。
化工所的老教授一把扯下脸上的粗布口罩,大口喘着粗气。他这个在西北大漠里吃过沙子、受过苦的硬汉,这会儿眼眶通红,眼泪啪嗒啪嗒往下掉。他抬起粗糙的手背,使劲蹭了蹭眼角。
洋人总觉得咱们龙国人搞不懂微米级的精细活,材料买不着,技术连看都不让看。可今天,凭着咱们自己的土办法,愣是把这条路给蹚开了。这是零的突破,是在外头封锁的铁桶上凿出了一个窟窿。
林振看着欢呼雀跃的众人,嘴角也跟着扬了起来。
“快拿过去。放显微镜底下好好量量。”老教授抹干了眼泪,大着嗓门招呼。
小伙子赶紧把硅片送到了光学显微镜下头。大家呼啦一下全围了过去,排着队想看一眼。
老教授第一个贴上目镜。
放大镜里,那些细小的紫色条纹变得粗大无比。虽然边角地方还能看出一丁点锯齿状的毛边,大体轮廓却十分笔直。
他捏住显微镜目镜上的测微尺旋钮,指尖放缓力道一点点拧动,将视野里的刻度线平移过去,一分一毫的对准那道紫色条纹的两侧边界。
看清楚之后,老教授的嗓音全哑了,扯着脖子喊出声。
“十微米!同志们,不多不少正正好十微米。”
“这边缘也陡直,太漂亮了!”
人群里又是一阵拍手叫好的声音,大伙儿脸上的笑意怎么都止不住。
有个戴着厚底眼镜的年轻研究员等老教授看完了,也迫不及待的凑上去看。他来来回回看了半天,眉头却越皱越紧。
“教授,您再来看看。”他退开半步,小声念叨着,“咱们画的线是挺好,可这地基,瞧着有些别扭。”
“地基怎么了?”
老教授满脸纳闷,重新靠回显微镜前。
这一回,他没看那些紫色的胶带,专门去看胶带缝隙里露出来的硅片表面。
一看之下,老教授的脸色刷的一下白了,刚才那股子热血劲儿全退了下去。
高倍镜底下的硅片,本该是平整光滑的。可现在看过去,全是坑坑包包的起伏。
这还不算完,整个底面上东一块西一块,杂乱无章的拼凑着无数个细碎的晶体颗粒,全是清晰可见的接缝。
那纹路,跟一块受了潮长了霉斑的烂木头没什么两样。
老教授离开目镜,直勾勾地盯着林振,手指哆嗦着。
“林总师,咱们这回用的这批硅片,难道是多晶的?”
林振脸上的表情没什么起伏,只是轻轻点了点头。他早料到到了这一步大家都会看出来。
“对,咱们国内眼下的冶炼水平,能提纯出来的最好材料,也就是这种多晶硅。”
整个洁净室里的温度就像是掉进了冰窟窿,刚才那热火朝天的劲头消失得无影无踪。大伙儿面面相觑,谁也说不出话来。
老教授长长叹了一口气,指着显微镜,满脸苦笑。
“大伙儿轮流去看看咱们这块烂木头吧。”
“咱们的化学办法走通了,光刻胶也配出来了,连十微米的线咱们都能画出来。”
“可咱们想在这上头盖精密的电子大楼,这材料根本不答应。”
他连连摇头。
“这底板太次了,根本用不成。”