对于这么多航空体系的人，前来打听消息。
韩文韬是比较高兴的。
这说明什么？
说明许多人感兴趣。
感兴趣的人多，官方在选‘大飞机项目’负责人的时候，就有更多的选择。
而且，最终来‘大飞机项目’的负责分。
可能就不止一个负责人。
说不定还能带来几个“好友”。
负责人的好友……那放在航空领域，也是顶尖大牛啊。
其次，‘大飞机项目’落地后，需要研发人员、研发团队。
官方也会协调。
这么多人打听，说明是有很多人，愿意跳出航空体系内部。
从国企、央企、军工领域离开，来【北辰商飞公司】这个民企的。
是好事！
“你这个年过的，比我还忙……”
整个新年，韩文韬经常就是接电话，谈航空、大飞机项目。
要知道在家里的时候，韩文韬以前是没什么事情的。
基本不谈公司、工作的事情。
公司、工作的事情，很少找到他。
公司和工作，他都交给公司负责人去管，属于完全放权！
只有韩鸿宇要管‘鸿宇摩托车’‘鸿宇钢铁厂’……特别是摩托车厂，许多事情需要他处理。
好在韩鸿宇乐此不疲，干劲十足。
现在，韩鸿宇终于看到，一直悠闲的儿子，也每天接各种电话，张口闭口就是公司的事情了。
嘿嘿嘿～心里平衡不少。
“这次去外公家里，可能没时间停留太久了。”
年后，韩文韬和老爸，还有小姨，去外公家里拜年。
原计划是去一周。
因为大飞机项目……以及年后有不少事情需要处理，光刻机：光源系统、物镜系统的团队也要过来。
之后‘路特斯（莲花跑车）’工程团队的人要来。
韩文韬还是有不少事情需要处理的。
李淑梅非常理解：“你的正事重要！”
她只是帮韩文韬自己、实验室、公司申请专利……可仅仅是每个月的专利申请量。
就能看出，韩文韬真的很忙。
旗下公司、实验室、团队……手里的研究项目非常多。
事情真的不少。
“我年后可能要去一趟法国，具体到时候看，不行的话……小兰就留在爸那边！”
“或者让爸妈过来蜀汉市照顾你。”
李淑梅还有四个月左右就要生了。
韩鸿宇过段时间要去一趟法国……而且要去几趟。
具体时间没定。
他离开后。
总不可能是韩文韬照顾小姨吧？
韩文韬现在的事情和项目，并不比老爸少，也很忙。
最好的办法，就是小姨这次去外公家，就留在江城那边。
或者，外公、外婆直接来蜀汉市。
“到时回去跟爸妈商量吧。”
具体怎么弄，李淑梅都可以，关键还是看两位老人的想法。
这次就没开车，而是直接乘坐飞机前往江城。
舅舅李正军到机场接韩文韬他们。
去年过年，韩文韬老爸，和外公一家的‘恩怨’算是彻底解除了。
今年过年，小姨还怀孕了，待遇就更好。
经过商量过后，两位老人非常理解韩鸿宇公司要忙，毕竟已经是国内头部摩托车厂。
两位老人决定去蜀汉市照顾女儿。
一周后，一行五人乘坐飞机又返回蜀汉市。
这时候新年已经过去10来天了。
年前就联系好的：沪上光电所、科学院光电所、长光所；
以及2月份，韩文韬去燕都参加国奖颁奖典礼，认识的几个研究人员。
主要攻克光源系统、物镜系统……解决光刻机的问题。
团队已经抵达。
韩文韬也忙起来。
“感谢各位远道而来，辛苦了！”
韩文韬在锦湖这边，亲自迎接来自几个光学研究所、实验室的团队。
先安排了午饭，然后带团队的人去住的地方。
之后直接去【北辰精密】研发大楼。
光刻机项目就放在【北辰精密】。
光刻机也精密设备嘛！
而且，【北辰精密】这边许多技术和设备，光刻机上是用得上，能更快、更高效地为光刻机团队提供解决方案。
“目前，我们已经购入多台0.25um光刻机……其中部分放在晶圆厂使用！”
“会拿两台出来做研究。”
“我先说一下短期目标和长期目标……”
“短期目标，将目前光刻机使用的i-line的365nm光源，升级成KrF（氟化氪）248nm光源、或者ArF（氟化氩）193nm光源！”
“我个人倾向于后者，一步到位，难度并不会很高！”
目前，0.25um的光刻机……或者之前使用的光刻机，基本都是365nm的i-line（汞灯谱线）。
波长365nm，精度不够，0.25um工艺基本已经是极限。
后面0.25um以上更先进的工艺，就需要全新的光源。
KrF（氟化氪）是248nm的光源，精度比365nmi-line（汞灯谱线）更高，1988年由尼康推出首款商用KrF光刻机。
依旧是十几二十年前的技术了。
就这……国内也还没用上。
不是做不出来，而是用不上……光刻机没有达到这个水平。
而ArF（氟化氩）准分子激光，它是193纳米的波长，是目前全球最顶尖的技术。
去年用Gigaphoton推出首款量产的ArF激光器。
前世，芯片和光刻机被封锁有多严重？？
盘点过光刻机的韩文韬，当然知道ArF光源的光刻机更先进，是90nm工艺以及更先进工艺的必须技术。
能一直用在7nm！
所以他推荐后者：ArF光源。
当然，这是短期项目。
“长期项目，我们要研究的是——EUV极紫外光源！”
EUV极紫外光源。
这是下一代光刻机的研发方向，是全世界基本已经摸索出来的方向。
但是难度……非常高！
这需要人为去制造一种自然界不存在的‘光’，这种光还极易被任何物质吸收。
即便是空气！
这就导致EUV光源，不能使用透镜，会被透镜吸收耗尽。
只能依靠布拉格反射镜。
这种反射镜的镜面精度，需达原子级别。
造出这种‘光’其实还是能做到的，难的：物镜系统。
还有更难的是：用这种光来制造芯片。
超高精度的芯片。
在晶圆厂，每小时需要处理100片以上晶圆。
要将EUV光源用在这上面，功率需要达到200w以上，而且需要稳定、高效、持续。
激光是从电能转换来的。
将电能通过激光器，转换为激光，效率大约在10%-20%。
看似不错，EUV要求只是区区200w？
那不是轻轻松松吗？
实际上，要维持一台输出功率200w以上的EUV光刻机：稳定、高效、持续运行。
驱动激光的功率需要约20kw。
也就是：从电能转化为激光，最终到达晶圆的EUV光，转换效率仅为0.02% ！
转化过程怎么转化呢？
EUV光源是需要‘人造’的。
那就是用高能激光，以每秒5万次（50khz）的频率，精准轰击直径仅约30微米（比头发丝还细）的锡液滴，将其转化为等离子体并辐射出EUV光。
再将产生的EUV光，通过十几面反射率仅约70%的布拉格反射镜进行反射、控制、最终进行晶圆光刻。
就这其中的问题：
大功率激光驱动。
激光器转化效率。
如何控制高能激光，以每秒5万次（50khz）的频率，精准轰击直径仅约30微米（比头发丝还细）的锡液滴？
如何打磨出产生平面精度，比头发丝直径还要细几百万分之一，反射率70%的布拉格反射镜？
当高能激光，每秒5万次（50khz）的频率轰击锡滴，转化为等离子体并辐射出EUV光，那产生的锡碎屑，会污染物镜和精密光学部件！
如何避免？如何解决这个问题？如何清理这些碎屑？
同时，数十千瓦的激光能量，不断轰击微小的锡滴上，会产生极端的高温，对物镜、光学部件、精密结构造成巨大影响。
这是EUV光刻机……金属等材料，高温下是会发生变形的。
哪怕只是1纳米、0.1纳米……影响都是巨大的。
这些问题，还只是光源系统、和部分物镜系统的问题。
还有工作台、还有整个光刻机各方面的问题。
EUV光刻机？
沪上光电所、科学院光电所、长光所这边过来的团队，脑海中冒出一个：10年？还是20年？EUV光刻机能解决吗？！
这【北辰精密】也不是一家骗子公司啊？
一来就整这种大项目？！